| 年份 | 产品分类 | 收入(万元) | 收入占比(%) | 成本占比(%) | 利润占比(%) | 毛利率(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 结构部件 | 23784 | 19.2165 | 21.5307 | 13.5576 | 20.4775 |
| 2025-12-31 | 工艺部件 | 89409 | 72.2367 | 68.5999 | 81.1298 | 32.598 |
| 2025-06-30 | 结构部件 | 12832 | 19.6062 | 21.3584 | 15.5719 | 24.0499 |
| 2025-06-30 | 工艺部件 | 46720 | 71.381 | 68.2716 | 78.5401 | 33.3176 |
| 2024-12-31 | 结构部件 | 22663 | 19.954 | 20.543 | 18.802 | 31.8785 |
| 2024-12-31 | 工艺部件 | 81906 | 72.1149 | 69.954 | 76.3413 | 35.8144 |
| 2024-03-31 | 精密零部件 | 20495 | 94.6824 | 94.0927 | 95.7059 | 36.9504 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 4474 | 20.6686 | 21.2076 | 19.7331 | 34.9007 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件-工艺部件 | 6484 | 29.9561 | 27.6191 | 34.0122 | 41.5049 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-腔体 | 3843 | 17.7541 | 19.8218 | 14.1653 | 29.1662 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-加热器 | 2524 | 11.6644 | 10.359 | 13.9299 | 43.6553 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-内衬 | 1249 | 5.7703 | 4.4877 | 7.9962 | 50.6569 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件 | 8617 | 39.8114 | 38.9871 | 41.2421 | 37.869 |
| 2024-03-31 | 其中:半导体设备零部件 | 19576 | 90.4362 | 87.8138 | 94.9877 | 38.395 |
| 2023-12-31 | 精密零部件 | 53146 | 95.2928 | 95.7122 | 94.3111 | 29.6259 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 9631 | 17.2698 | 18.598 | 14.1609 | 24.5455 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 13667 | 24.5057 | 23.1534 | 27.6709 | 33.8007 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 8370 | 15.0089 | 15.7828 | 13.1973 | 26.3211 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 4287 | 7.687 | 6.6093 | 10.2097 | 39.7578 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 4857 | 8.7104 | 7.4774 | 11.5963 | 39.8521 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 5896 | 10.573 | 7.6634 | 17.3834 | 49.2157 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 23412 | 41.9793 | 37.533 | 52.3866 | 37.3554 |
| 2023-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 46711 | 83.7548 | 79.2844 | 94.2185 | 33.674 |
| 2022-12-31 | 精密零部件 | 45485 | 96.8355 | 97.6998 | 95.4934 | 38.6259 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 8148 | 17.3487 | 20.8585 | 11.8976 | 26.8618 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 14766 | 31.4368 | 33.1138 | 28.8324 | 35.9237 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 7555 | 16.0842 | 17.5698 | 13.777 | 33.5503 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 4483 | 9.5458 | 8.8955 | 10.5558 | 43.3129 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 3816 | 8.125 | 6.6983 | 10.3409 | 49.8509 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 6227 | 13.2571 | 8.777 | 20.2151 | 59.7263 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 22082 | 47.0122 | 41.9405 | 54.8888 | 45.7313 |
| 2022-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 44997 | 95.7977 | 95.9129 | 95.6188 | 39.0957 |
| 2021-12-31 | 精密零部件 | 40886 | 96.5111 | 97.7014 | 94.5933 | 37.5372 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 5937 | 14.0156 | 17.8324 | 7.8663 | 21.495 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 12127 | 28.6268 | 29.1629 | 27.7632 | 37.1428 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 8227 | 19.42 | 22.0558 | 15.1735 | 29.9236 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 3946 | 9.3144 | 8.8567 | 10.0518 | 41.3303 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 2217 | 5.2348 | 4.1643 | 6.9595 | 50.9165 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 5073 | 11.9755 | 7.0286 | 19.9454 | 63.7862 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 19464 | 45.9447 | 42.1054 | 52.1302 | 43.4542 |
| 2021-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 37529 | 88.5871 | 89.1007 | 87.7596 | 37.9404 |
| 2021-12-31 | 其中:其他部件 | 3356 | 7.924 | 8.6007 | 6.8336 | 33.0283 |
| 2020-12-31 | 精密零部件 | 19076 | 94.6534 | 95.8635 | 92.7735 | 38.3853 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 3445 | 17.0962 | 22.5497 | 8.6246 | 19.7568 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 5670 | 28.1373 | 28.2964 | 27.89 | 38.819 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 3774 | 18.7273 | 19.7988 | 17.0628 | 35.6823 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 1586 | 7.8696 | 6.8276 | 9.4882 | 47.2183 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-关键工艺部件-匀气盘 | 2394 | 11.8792 | 6.4669 | 20.2869 | 66.8812 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 8317 | 41.2693 | 35.3414 | 50.4779 | 47.9017 |
| 2020-12-31 | 其中:半导体设备零部件-结构部件 | 17434 | 86.5027 | 86.1874 | 86.9925 | 39.3849 |
| 2020-12-31 | 其中:其他部件 | 1642 | 8.1506 | 9.6761 | 5.7808 | 27.7767 |
| 年份 | 产品分类 | 收入(万元) | 收入占比(%) | 成本占比(%) | 利润占比(%) | 毛利率(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 半导体 | 119431 | 96.4926 | 95.9805 | 97.7448 | 29.4014 |
| 2025-12-31 | 其他(补充) | 748 | 0.6049 | 5.0E-4 | 2.083 | 99.9421 |
| 2025-12-31 | 其他 | 3592 | 2.9025 | 4.019 | 0.1722 | 1.722 |
| 2024-12-31 | 半导体 | 109604 | 96.5018 | 95.778 | 97.9175 | 34.328 |
| 2024-12-31 | 其他(补充) | 795 | 0.7007 | 2.071 | ||
| 2024-12-31 | 其他 | 3177 | 2.7975 | 4.222 | 0.0115 | 0.1392 |
| 年份 | 产品分类 | 收入(万元) | 收入占比(%) | 成本占比(%) | 利润占比(%) | 毛利率(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 其他(补充) | 748 | 0.6049 | 5.0E-4 | 2.083 | 99.9421 |
| 2025-12-31 | 国内 | 120875 | 97.6595 | 97.8638 | 97.1598 | 28.8763 |
| 2025-12-31 | 中国大陆以外 | 2148 | 1.7356 | 2.1357 | 0.7572 | 12.6631 |
| 2025-06-30 | 外销 | 7015 | 10.7189 | 10.331 | 11.6118 | 32.8031 |
| 2025-06-30 | 内销 | 58436 | 89.2811 | 89.669 | 88.3882 | 29.9777 |
| 2024-12-31 | 其他(补充) | 795 | 0.7007 | 2.071 | ||
| 2024-12-31 | 国内 | 110827 | 97.5788 | 97.3526 | 98.0213 | 33.9851 |
| 2024-12-31 | 中国大陆以外 | 1954 | 1.7205 | 2.6474 | -0.0924 | -1.8164 |
| 2024-09-30 | 外销 | 5833 | 6.7139 | 7.1766 | 5.835 | 29.9722 |
| 2024-09-30 | 内销 | 81055 | 93.2861 | 92.8234 | 94.165 | 34.8117 |
| 2024-03-31 | 西南地区 | 86 | 0.4015 | |||
| 2024-03-31 | 欧洲 | 1 | 0.0068 | |||
| 2024-03-31 | 华南地区 | 875 | 4.0465 | |||
| 2024-03-31 | 华北地区 | 9182 | 42.4207 | |||
| 2024-03-31 | 华东地区 | 10498 | 48.4987 | |||
| 2024-03-31 | 北美洲 | 94 | 0.4355 | |||
| 2024-03-31 | 其他(补充) | 200 | 0.9281 | |||
| 2024-03-31 | 亚洲 | 257 | 1.1908 | |||
| 2024-03-31 | 东北地区 | 448 | 2.0714 | |||
| 2023-12-31 | 西南 | 156 | 0.2803 | |||
| 2023-12-31 | 华南 | 1765 | 3.166 | |||
| 2023-12-31 | 华北 | 22162 | 39.7387 | |||
| 2023-12-31 | 华东 | 28044 | 50.2844 | |||
| 2023-12-31 | 北美洲 | 591 | 1.0599 | |||
| 2023-12-31 | 其他(补充) | 768 | 1.3784 | |||
| 2023-12-31 | 亚洲 | 631 | 1.1332 | |||
| 2023-12-31 | 东北 | 1650 | 2.9591 | |||
| 2022-12-31 | 西南 | 578 | 1.2312 | |||
| 2022-12-31 | 华南 | 427 | 0.91 | |||
| 2022-12-31 | 华北 | 19861 | 42.2849 | |||
| 2022-12-31 | 华东 | 22393 | 47.6737 | |||
| 2022-12-31 | 北美洲 | 438 | 0.9333 | |||
| 2022-12-31 | 其他(补充) | 625 | 1.3311 | |||
| 2022-12-31 | 亚洲 | 460 | 0.9796 | |||
| 2022-12-31 | 东北 | 2187 | 4.6561 | |||
| 2021-12-31 | 西南 | 622 | 1.4684 | |||
| 2021-12-31 | 华南 | 677 | 1.5989 | |||
| 2021-12-31 | 华北 | 19065 | 45.0041 | |||
| 2021-12-31 | 华东 | 19948 | 47.0886 | |||
| 2021-12-31 | 其他(补充) | 442 | 1.0441 | |||
| 2021-12-31 | 亚洲 | 304 | 0.7196 | |||
| 2021-12-31 | 东北 | 1303 | 3.0762 | |||
| 2020-12-31 | 西南 | 397 | 1.9741 | |||
| 2020-12-31 | 华南 | 387 | 1.9223 | |||
| 2020-12-31 | 华北 | 8209 | 40.7326 | |||
| 2020-12-31 | 华东 | 9999 | 49.6127 | |||
| 2020-12-31 | 北美洲 | 27 | 0.1343 | |||
| 2020-12-31 | 其他(补充) | 256 | 1.2705 | |||
| 2020-12-31 | 亚洲 | 197 | 0.9777 | |||
| 2020-12-31 | 东北 | 680 | 3.3757 |