| 2026年第一季度业绩预告的自愿性披露公告 | Wed Apr 15 00:00:00 CST 2026 |
| 2025年年度报告摘要 年报 | Sat Mar 14 00:00:00 CST 2026 |
| 2025年年度报告 年报 | Sat Mar 14 00:00:00 CST 2026 |
| 2025年度利润分配预案的公告 分红 | Sat Mar 14 00:00:00 CST 2026 |
| 2025年度业绩快报公告 | Thu Feb 26 00:00:00 CST 2026 |
| 2025年年度业绩预告 | Wed Jan 21 00:00:00 CST 2026 |
| 关于召开2025年第三季度业绩说明会的公告 | Thu Oct 30 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年第三季度报告 三季报 | Thu Oct 30 00:00:00 CST 2025 |
| 关于召开2025年半年度业绩说明会的公告 | Thu Aug 28 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年半年度报告摘要 半年报 | Thu Aug 28 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年半年度报告 半年报 | Thu Aug 28 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年度利润分配预案的公告 分红 | Thu Apr 24 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年第一季度报告 一季报 | Thu Apr 24 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年年度报告摘要 年报 | Thu Apr 24 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年年度报告 年报 | Thu Apr 24 00:00:00 CST 2025 |
| 关于参加2024年度科创板半导体设备行业集体业绩说明会的公告 | Sat Apr 19 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年度业绩快报公告 | Fri Feb 28 00:00:00 CST 2025 |
| 关于召开2024年第三季度业绩说明会的公告 | Sat Oct 26 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年第三季度报告 三季报 | Sat Oct 26 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年半年度报告摘要 半年报 | Thu Aug 22 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年半年度报告 半年报 | Thu Aug 22 00:00:00 CST 2024 |
| 关于召开2024年半年度业绩说明会的公告 | Tue Aug 20 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年半年度业绩预告的自愿性披露公告 | Wed Jul 24 00:00:00 CST 2024 |
| 关于参加2023年度科创板半导体设备专场业绩说明会的公告 | Wed May 01 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年度利润分配预案的公告 分红 | Wed Apr 24 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年第一季度报告 一季报 | Wed Apr 24 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年年度报告 年报 | Wed Apr 24 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年年度报告摘要 年报 | Wed Apr 24 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年度业绩快报公告 | Sat Feb 24 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年第三季度报告 三季报 | Tue Oct 24 00:00:00 CST 2023 |
| 关于召开2023年第三季度业绩说明会的公告 | Tue Oct 24 00:00:00 CST 2023 |
| 2023年半年度报告 半年报 | Sat Aug 26 00:00:00 CST 2023 |
| 2023年半年度报告摘要 半年报 | Sat Aug 26 00:00:00 CST 2023 |
| 关于参加2023年半年度半导体行业集体业绩说明会的公告 | Sat Aug 26 00:00:00 CST 2023 |
| 海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年度持续督导年度报告 年报 | Thu Apr 27 00:00:00 CST 2023 |
| 关于召开2022年度暨2023年第一季度业绩说明会的公告 | Sat Apr 22 00:00:00 CST 2023 |
| 2022年度利润分配预案的公告 分红 | Thu Apr 20 00:00:00 CST 2023 |
| 2023年第一季度报告 一季报 | Thu Apr 20 00:00:00 CST 2023 |
| 2022年年度报告 年报 | Thu Apr 20 00:00:00 CST 2023 |
| 2022年年度报告摘要 年报 | Thu Apr 20 00:00:00 CST 2023 |
| 2022年度业绩快报公告 | Fri Feb 24 00:00:00 CST 2023 |
| 关于召开2022年第三季度业绩说明会的公告 | Wed Nov 02 00:00:00 CST 2022 |
| 2022年第三季度报告 三季报 | Fri Oct 28 00:00:00 CST 2022 |
| 2022年半年度报告摘要 半年报 | Mon Aug 15 00:00:00 CST 2022 |
| 2022年半年度报告 半年报 | Mon Aug 15 00:00:00 CST 2022 |
| 关于召开2022年半年度业绩说明会的公告 | Mon Aug 15 00:00:00 CST 2022 |
| 海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年度持续督导年度报告 年报 | Fri May 06 00:00:00 CST 2022 |
| 关于召开2021年度业绩说明会的公告 | Fri Apr 29 00:00:00 CST 2022 |
| 2021年年度报告摘要 年报 | Wed Apr 27 00:00:00 CST 2022 |
| 2021年年度报告 年报 | Wed Apr 27 00:00:00 CST 2022 |
| 2022年第一季度报告 一季报 | Wed Apr 27 00:00:00 CST 2022 |
| 2021年度利润分配预案的公告 分红 | Wed Apr 27 00:00:00 CST 2022 |
| 2021年度业绩快报公告 | Fri Feb 25 00:00:00 CST 2022 |
| 2021年年度业绩预告 | Thu Jan 20 00:00:00 CST 2022 |
| 2021年第三季度报告 三季报 | Tue Oct 26 00:00:00 CST 2021 |
| 关于召开2021年半年度业绩说明会的公告 | Wed Aug 18 00:00:00 CST 2021 |
| 2021年半年度报告 半年报 | Wed Aug 18 00:00:00 CST 2021 |
| 2021年半年度报告摘要 半年报 | Wed Aug 18 00:00:00 CST 2021 |
| 关于召开2020年度业绩说明会的公告 | Thu Apr 29 00:00:00 CST 2021 |
| 2021年第一季度报告（全文） 一季报 | Thu Apr 22 00:00:00 CST 2021 |
| 2021年第一季度报告正文 一季报 | Thu Apr 22 00:00:00 CST 2021 |
| 2020年年度报告 年报 | Thu Apr 22 00:00:00 CST 2021 |
| 2020年度利润分配方案的公告 分红 | Thu Apr 22 00:00:00 CST 2021 |
| 2020年年度报告摘要 年报 | Thu Apr 22 00:00:00 CST 2021 |