| 2025年度业绩快报公告 | Sat Feb 28 00:00:00 CST 2026 |
| 关于参加2025年上海辖区上市公司三季报集体业绩说明会的公告 | Wed Nov 05 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年第三季度报告 三季报 | Fri Oct 31 00:00:00 CST 2025 |
| 关于参加2025年半年度科创板半导体设备及材料行业集体业绩说明会的公告 | Sat Aug 30 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年半年度报告摘要 半年报 | Wed Aug 20 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年半年度报告 半年报 | Wed Aug 20 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年年度报告（修订版） 年报 | Thu May 15 00:00:00 CST 2025 |
| 关于参加2025年上海辖区上市公司年报集体业绩说明会暨召开2025年第一季度报告业绩说明会的公告 一季报 | Wed Apr 30 00:00:00 CST 2025 |
| 2025年第一季度报告 一季报 | Tue Apr 29 00:00:00 CST 2025 |
| 关于2024年度利润分配预案的公告 分红 | Thu Apr 10 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年年度报告摘要 年报 | Thu Apr 10 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年年度报告 年报 | Thu Apr 10 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年度业绩快报公告 | Fri Feb 28 00:00:00 CST 2025 |
| 2024年三季度报告 三季报 | Wed Oct 30 00:00:00 CST 2024 |
| 关于2024年前三季度业绩预告的自愿性披露公告 | Thu Oct 17 00:00:00 CST 2024 |
| 关于参加2024年半年度半导体设备及材料专场集体业绩说明会的公告 | Wed Sep 04 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年半年度报告摘要 半年报 | Thu Aug 29 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年半年度报告 半年报 | Thu Aug 29 00:00:00 CST 2024 |
| 关于调整2023年度利润分配现金分红总额的公告 分红 | Thu Jun 06 00:00:00 CST 2024 |
| 关于调整2023年度利润分配现金分红总额的公告 分红 | Sat May 11 00:00:00 CST 2024 |
| 关于召开2023年度暨2024年第一季度业绩说明会的公告 | Thu May 09 00:00:00 CST 2024 |
| 2024年第一季度报告 一季报 | Mon Apr 29 00:00:00 CST 2024 |
| 关于2024年度第一季度业绩预告的自愿性披露公告 | Thu Apr 18 00:00:00 CST 2024 |
| 关于2023年度利润分配预案的公告 分红 | Thu Apr 18 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年年度报告 年报 | Thu Apr 18 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年年度报告摘要 年报 | Thu Apr 18 00:00:00 CST 2024 |
| 2023年度业绩快报 | Fri Feb 23 00:00:00 CST 2024 |
| 关于召开2023年第三季度业绩说明会的公告 | Sat Oct 28 00:00:00 CST 2023 |
| 2023年第三季度报告 三季报 | Sat Oct 28 00:00:00 CST 2023 |
| 董事、监事、高级管理人员签署的对半年度报告的书面确认意见 半年报 | Thu Aug 31 00:00:00 CST 2023 |
| 2023年半年度报告 半年报 | Thu Aug 31 00:00:00 CST 2023 |
| 2023年半年度报告摘要 半年报 | Thu Aug 31 00:00:00 CST 2023 |